在半導體制造這個高精度、高要求的領域中,DF 系列擴散器專用過濾器扮演著舉足輕重的角色。
DF 系列專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用量身定制。它創(chuàng)新性地結合了擴散器的氣體流動特性與高效過濾器的顆粒攔截能力。其 0.003um 的過濾精度堪稱卓越,在微觀層面上為半導體工藝保駕護航。在芯片制造的諸多環(huán)節(jié),如光刻、蝕刻等,哪怕是極其微小的顆粒雜質都可能引發(fā)嚴重的質量問題,而該過濾器能夠精準地捕捉這些潛在威脅,防止微?;烊牍に嚉怏w,極大地提高了產品合格率。
其獨特的全 316L 不銹鋼結構更是優(yōu)勢盡顯。不銹鋼粉末燒結介質賦予了它可快速排氣的特性,滿足了真空腔體快速放氣的迫切需求。同時,它有效減少了工藝腔體排氣時的湍流。在半導體工藝室中,湍流可能導致氣流紊亂,使顆粒被吹起甚至硅片移位,從而破壞整個工藝的精準性與穩(wěn)定性。而 DF 系列過濾器則像一位技藝高超的指揮家,巧妙地引導氣體平穩(wěn)流動,確保工藝環(huán)境始終處于最佳狀態(tài)。
該過濾器適用于多種工藝氣體,無論是常用的惰性氣體,還是具有腐蝕性的特殊氣體,都能在其 “掌控” 之下安全穩(wěn)定地參與工藝過程。并且,它在潔凈室環(huán)境內進行制造、測試與包裝,全程遵循嚴格的質量管控標準,還順利通過了 100% 完整性測試以及 100% 氨氣泄露檢測,具備耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的卓越性能。這意味著無論半導體制造過程中面臨何種極端環(huán)境與復雜工藝條件,DF 系列過濾器都能堅守崗位,穩(wěn)定可靠地運行,為整個生產流程提供堅實的保障。
此外,恒歌DF 系列擴散器過濾器的可定制化設計為半導體生產帶來了極大的便利。半導體生產車間設備布局復雜多樣,空間利用要求極高。它能夠依據(jù)不同的安裝空間進行靈活設計,完美適配各種特殊的安裝環(huán)境,無論是狹小的角落還是形狀不規(guī)則的區(qū)域,都能輕松應對,實現(xiàn)與整體工藝設備的無縫銜接,進一步提升了其在半導體行業(yè)中的應用價值與競爭力。
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