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半導(dǎo)體氣體過濾器
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不銹鋼燒結(jié)金屬微孔VCR過濾墊片_氣體管路密封限流接頭

  • 半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮?dú)獾?。VCR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備,同時(shí)精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩(wěn)定性和可靠性。
  • 產(chǎn)品詳情

VCR(Vacuum Coupling Retainer)過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。

密封功能在氣體管路系統(tǒng)中,確保連接部位的氣密性至關(guān)重要。VCR 接頭通過高精度的加工和特殊的密封結(jié)構(gòu),能夠有效防止氣體泄漏。其密封原理通常是利用金屬墊片在接頭擰緊時(shí)發(fā)生彈性變形,填充連接面的微小間隙,從而達(dá)到密封效果。例如,在半導(dǎo)體制造的高純氣體輸送管路中,哪怕是微小的泄漏都可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降,VCR 接頭的良好密封性能就可以避免這種情況。

過濾功能過濾墊片是其重要組成部分。它可以過濾掉氣體中的微小顆粒雜質(zhì)。在一些對(duì)氣體純度要求很高的行業(yè),如制藥、電子芯片制造等,氣體中的雜質(zhì)可能會(huì)對(duì)生產(chǎn)過程產(chǎn)生嚴(yán)重影響。例如,在制藥行業(yè)的無菌氣體輸送中,過濾墊片可以攔截細(xì)菌、灰塵等雜質(zhì),保證輸送的氣體符合生產(chǎn)要求。

限流功能:能夠?qū)怏w的流量進(jìn)行一定程度的限制和調(diào)節(jié)。這在需要精確控制氣體流量的實(shí)驗(yàn)或生產(chǎn)過程中非常重要。比如在化學(xué)實(shí)驗(yàn)的氣體反應(yīng)過程中,通過 VCR 接頭可以按照實(shí)驗(yàn)要求精確控制反應(yīng)氣體的流量,以確保反應(yīng)的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。

應(yīng)用領(lǐng)域:

半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,需要輸送大量的高純氣體,如氫氣、氮?dú)獾取CR 過濾墊片氣體管路密封限流接頭可以確保氣體的純度,防止雜質(zhì)進(jìn)入生產(chǎn)設(shè)備,同時(shí)精確控制氣體流量,保證芯片制造過程的穩(wěn)定性和可靠性。

產(chǎn)品參數(shù)

濾芯材質(zhì)    316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體/墊片材質(zhì)  316L不銹鋼
表面處理   內(nèi)表面   拋光+電解Ras0.2um最高使用溫度    400°C
外表面     Ra < 1.бum  
顆粒攔截粒徑  ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm
(參考MPPS,所有顆粒)
顆粒攔截粒徑  20.3um


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