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SF系列IGS面板專用過濾器用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)、兼容C型和W型多種密封規(guī)格、實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾、保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量、適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造、堅固耐用、緊湊體型融合全焊接與機械密封技術(shù)。采用符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的表面安裝元件、便于系統(tǒng)集成與模塊化設(shè)計升級、安裝維護便捷高效。
產(chǎn)品特點
? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
? 小型化設(shè)計、結(jié)構(gòu)緊湊、不占用空間優(yōu)異的氣體置換和解吸特性
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
? 電解拋光316L不銹鋼外殼
? 安裝與檢修便捷高效
? 采用機械密封、結(jié)構(gòu)上與介質(zhì)無焊接
技術(shù)參數(shù)
| 濾芯材質(zhì) | 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | |
| 最大進氣壓力 | 3.4Mpa@100°C | 最大工作壓差 | 0.69Mpa@100°C | |
| 氦氣驗證泄漏率 | 1x10-10cc/min | 氦溍照氣測試泄漏率 | 1x10-10cc/min | |
| 表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 460℃ |
| 內(nèi)表面 | Ra < 0.13μm | |||
| 顆粒攔截效率 | ≧99.9999999%(9LRV)@120slpm (參考MPPS所有顆粒) | 下游潔凈度 | 顆粒釋放:<0.03particles/liter (<1particle/ft3)greater than 0.01μm Volatiles:<10ppb moisture | |
| 顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm | 流量范圍 | 0~120slpm | |
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