BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 適用于多種工藝氣體

? 適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測(cè)試、包裝

? 100%完整性測(cè)試

? 100%氨氣檢漏測(cè)試

產(chǎn)品參數(shù)